结构监测与科研行业应用
商业化MEMS设计工具方面中国处于真空状态,从而造成众多MEMS设计公司的产品研发周期过长,且以模仿国外成熟产品为主。国产MEMS封装产业在全球范围内处于相对领先的地位,但高端测试设备仍被国外龙头企业垄断。MEMS封装成本在传感器制造环节中占总成本的比重达到40%以上
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