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让未知变可知
Let the unknown become known
工业制造行业应用

工业制造行业应用

副标题

MEMS让传感器小型化、智能化,MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度传感器可用于环境条件的检测,MEMS加速度计可以用来监测工业设备的振动和旋转速度。高精度的MEMS加速度计和陀螺仪可以为工业机器人的导航和转动提供精确的位置信息。
为了突破减薄装备领域的技术瓶颈,路新春教授带领华海清科,利用在化学机械抛光领域的产业化经验,集中力量开展超精密减薄理论与技术研究,攻克晶圆背面超精密磨削、平整度智能控制、表面损伤及缺陷控制系列核心技术,研制出首台用于12英寸3DIC制造、先进封装等领域晶圆超精密减薄机,解决该领域“卡脖子”问题。
由于这是一项新兴技术,如今很少有利益相关者能够提供将无源RFID芯片转变为RAIN RFID所需的智能传感设备的解决方案。
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